关键词:
微位移测量
激光干涉
外差检测
相位解调
相关鉴相
摘要:
在科技飞速发展的今天,航空航天、机械加工、建筑安全、地质灾害和生物医学等许多领域都对微位移测量有着广泛需求,开展微位移测量的相关研究对科学和工业发展都具有重大意义和应用价值。激光干涉法因其具有非接触、高精度、快速响应和高分辨率等特点,已成为微位移测量技术研究的重要方向。本文基于激光干涉法的特点,利用轻便小巧的光纤器件设计外差式全光纤激光干涉微位移测量系统,对其相关的理论和关键技术展开了分析和研究。本文的工作内容主要包括以下几个方面:
第一,介绍了激光干涉微位移测量技术的研究现状,分析了激光多普勒测量和光学外差检测技术的基本原理,在对比分析了零差干涉和外差干涉这两种常用的激光干涉测量系统基本结构后,采用外差干涉测量系统作为本文的基本结构进行光学系统设计。
第二,运用外差干涉和激光外调制等技术,设计了全光纤激光干涉微位移测量系统,针对声光移频器的频率漂移问题对系统光路进行优化,并推导出运动物体位移的计算公式,之后设计交流耦合光电探测电路,有效将光路系统输出的干涉信号实现光电转换和直流信号的旁路与交流信号的放大处理,方便后续的信号解调。
第三,对常用的几种相位解调算法进行了研究,包括希尔伯特变换法、IQ正交解调法和正弦曲线拟合法,分别进行理论推导并总结了各自存在的问题。结合本文中系统光路输出的两路信号特点,设计了一种可判断信号超前滞后关系的相关鉴相算法,实现对目标物体位移的高精度解调和方向判别,并对解调算法进行了仿真分析,在信噪比为20d B条件下位移解调误差最大,为3.762nm,信噪比越高,解调误差越小。
第四,搭建了全光纤激光干涉微位移测量系统,进行微位移测量实验并对实验结果进行分析,位移测量范围为-25μm~25μm,实验最大相对误差为0.78%,非线性误差为0.36%,位移一致性误差小于0.033μm,验证了系统方案的可行性,并分析了引起测量误差的主要因素。
综上所述,本文设计的全光纤激光干涉微位移测量系统可以用于对物体微位移的测量,具有较高的测量精度和稳定性,为今后进一步开展微位移测量技术研究奠定了坚实的基础。