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关键词： 调焦调平   数字光栅   位移测量   工艺适应性  

摘要： 数字光栅位移测量技术将CMOS相机的像素阵列当作一个“数字化”的光栅,通过构造光学光栅像和数字光栅的周期差,利用微米级的光学光栅像,实现纳米级的位移测量。其可以应用于光刻机的调焦调平传感器中,结合倾斜入射的检测光路,对晶圆表面高度进行精确测量。在实际测量中,晶圆表面意外出现的图形会干扰光学光栅的反射成像,进而影响图像处理结果。针对上述问题,本文提出一种数字光栅位移测量的工艺适应性方法,以数字光栅周期为单位,对存在干扰图案时的CMOS图像进行光强重建和光强曲线恢复。该方法能在晶圆基底出现较大面积图案时表现出很好的稳定性,且可以适应多种表面缺陷,如划痕、颗粒、污渍和沟槽等。实验结果表明,经图像光强重建后,光强曲线的均方误差大幅减小,修正后的Z向测量误差在±33 nm(±3σ=±41.2 nm)以内。该方法能增强数字光栅调焦调平传感器的工艺适应性,为调焦调平方法提供技术参考。

关键词： 缆索   结构健康监测   智能缆索   光纤传感器   多参量传感  

摘要： 本文介绍了一种可直接植入缆索结构内部,实现缆索温度、湿度和应变多参量同步监测的新型光纤传感器。采用飞秒光纤光栅无损刻写技术制作缆索监测传感光纤,大幅提升了传感器耐久性。研发了基于聚酰亚胺套管的增敏型湿度传感器,大幅提升传感器测量灵敏度。提出了基于螺旋铠装+不锈钢套管的双层光纤传感器封装保护方案。研究了传感光纤从缆索锚头区域引出工艺,并开展了缆索试验研究,验证了本文研发的缆索监测多参量光纤传感器在实际缆索样品应用中的效果。

关键词： EFPI光纤传感器   三波长相位解调   三波长自适应强度解调  

摘要： 为研究非本征法布里珀罗干涉仪(EFPI)光纤传感器的算法解调效果,基于波分复用技术设计和实现三波长相位解调算法、三波长自适应强度解调算法两种解调方案。实验测得EFPI光纤传感器解调系统中三波长相位解调算法的声压灵敏度为899.88 mV/Pa(1 kHz),信噪比为75.5 dB(1 kHz),线性拟合系数为0.994;三波长自适应强度解调算法的声压灵敏度较高为1106 mV/Pa(1 kHz),信噪比为67.5 dB(1 kHz),线性拟合系数为0.961。对比两种解调算法的特性,数据客观呈现解调结果,为EFPI光纤传感器音频解调系统在不同场景下的应用提供了算法选择方案。

关键词： 触觉传感器   亚波长金属光栅   纳米压印   机械手  

摘要： 因光学式触觉传感器有着灵敏度高、抗干扰能力强等优点,提出了一种基于亚波长金属光栅干涉的触觉传感器。首先,基于等效介质理论和薄膜干涉理论对触觉传感器的传感原理进行介绍;接着,通过纳米压印工艺和真空蒸发镀膜工艺在柔性中间聚合物片材(IPS)表面制作亚波长金属光栅,通过光刻工艺用SU—8光刻胶将亚波长金属光栅以固定间距平行离面放置,使其透射光强随接触力的施加而改变;最后,对光栅触觉传感器进行一系列力加载实验,实验结果表明:该触觉传感器的平均力分辨率可达到0.0003N/Gray以上,平均测量误差为6.3%。通过小型化设计,可以用于机械手上实现触觉传感功能。

关键词： 热电偶   高温   试验数据  

摘要： 为了实现对高温老化系统有效工作区域内温度进行实时监控,避免芯片或电子元器件由于温度异常导致的失效、损坏,根据连续热电偶的输出热电势总是和感温段上存在的最高温度相对应这一原理,搭建一套采用连续热电偶为感温元件的实时测温系统,该系统布置简单、造价低廉,利用实时测温系统分别对恒温状态和温度渐变状态进行试验数据验证,均能达到预期效果。使用该系统能有效监测老化系统工作区内的温度,并能实现集中监控,根据芯片或电子元器件的老化温度,自由设置预警和报警温度点。

关键词： 电阻点焊   机器视觉   图像处理   缺陷识别  

摘要： 电阻点焊作为不锈钢车体常用的焊接方法,其焊接质量稳定、生产效率高,但目前焊点外观质量检测过程中存在人的疲劳、责任心和经验欠缺的问题,为解决该问题,设计了一种基于机器视觉的不锈钢焊点外观质量检测系统,采用工业相机进行图像采集,并通过图像处理算法对焊点图像进行ROI提取,同时对焊点的内外轮廓半径进行尺寸测量和直线检测;基于图像特征对焊点进行分类识别;最后利用C#与Haclon联合编程做了一个人机交互的软件界面。试验表明,共检测220张图像,总的有无缺陷判别精度为89.55%,总的缺陷分类精度为91.84%,并且通过软件界面,能够实现辅助电阻点焊焊点外观缺陷检测人员的焊接缺陷自动识别。

关键词： 物联网   供电局   消防安全   智能监控   传感器网络  

摘要： 供电局的消防安全是保障电力系统稳定运行的重要环节为提升消防安全管理水平,设计了一种基于物联网技术的智能监控系统,该系统由传感器网络、数据处理平台和远程控制模块组成,实现了对供电局消防安全的全方位监控和管理,传感器网络实时采集数据,数据处理平台进行分析与处理,远程控制模块则负责预警与报警,研究结果表明该系统在检测和响应速度上具备高效性,在数据处理和决策支持方面体现了智能化并且在系统运行的可靠性上表现突出,该系统的应用将显著提升供电局的消防安全管理水平、减少火灾隐患、保障电力系统的安全稳定运行。

关键词： 学术性论文   学术不端行为   文字复制比   一稿多投   中国学术文献网络出版总库   特此通知   审稿程序   不当署名  

摘要： 为了保证学术性论文的真实性和原创性,端正对学术性论文抄袭与剽窃、伪造、篡改、不当署名、一稿多投等学术界的不正之风,以及本着对本刊论文作者和读者负责任的态度,医学与哲学杂志社于2009年2月开始启用《科技期刊学术不端文献检测系统(AMLC)》。该系统以《中国学术文献网络出版总库》为全文比对数据库,本刊编辑将使用该系统对作者所投稿件的文字复制情况进行检测,检测结果包括与已发表论文比对后的文字复制比率,所涉及论文的题目、作者、发表期刊和发表时间。按规定文字复制比超过20%的来稿即视为学术不端行为,将不能再进入下一步审稿程序,特此提醒广大投稿作者,注意所投稿件的原创性与真实性。特此通知。

关键词： 全国大学生智能汽车竞赛   限高摄像头识别   按键调参   状态机   编码器   陀螺仪  

摘要： 为降低第18届全国大学生智能汽车竞赛中摄像头限高15 cm的规则对小车终点入库的影响,提出一种基于多传感器数据协同作用的智能汽车终点入库方法。该方法通过按键调参设定入库方向,用摄像头图像处理算法识别远端斑马线作为开始入库的减速标志,近端斑马线作为转向标志,且使用状态机编程的思想,结合编码器和陀螺仪的传感器数据协同作用实现全过程的自动状态切换。实验结果表明,针对摄像头限高15 cm的三轮小车,提出的方法相较于传统入库方法更有优势,在入库准确率和正确率2项评价指标上分别提高了28.85%及35%。

关键词： 网络入侵检测系统   AWS云平台   传感器节点   云环境   支持向量机  

摘要： 研究介绍了基于云计算的网络入侵检测系统(IDS)设计与实现。通过选择AWS云平台,配置传感器节点和搭建云环境,实现了数据的安全传输和存储。使用支持向量机算法开发了分析引擎,实现了实时入侵行为识别。