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关键词： 调焦调平   数字光栅   位移测量   工艺适应性  

摘要： 数字光栅位移测量技术将CMOS相机的像素阵列当作一个“数字化”的光栅,通过构造光学光栅像和数字光栅的周期差,利用微米级的光学光栅像,实现纳米级的位移测量。其可以应用于光刻机的调焦调平传感器中,结合倾斜入射的检测光路,对晶圆表面高度进行精确测量。在实际测量中,晶圆表面意外出现的图形会干扰光学光栅的反射成像,进而影响图像处理结果。针对上述问题,本文提出一种数字光栅位移测量的工艺适应性方法,以数字光栅周期为单位,对存在干扰图案时的CMOS图像进行光强重建和光强曲线恢复。该方法能在晶圆基底出现较大面积图案时表现出很好的稳定性,且可以适应多种表面缺陷,如划痕、颗粒、污渍和沟槽等。实验结果表明,经图像光强重建后,光强曲线的均方误差大幅减小,修正后的Z向测量误差在±33 nm(±3σ=±41.2 nm)以内。该方法能增强数字光栅调焦调平传感器的工艺适应性,为调焦调平方法提供技术参考。

关键词： Python语言   多路开关   阿里云   遥控开关   控制开关   4G通信   通信模块   单片机  

摘要： 智能遥控开关采用工业级设计标准,基于阿里云平台,通过手机远程控制开关,支持每路开关独立控制,支持多路开关全开和全关控制等功能。采用EC600系列CAT14G通信模块,该通信模块可使用Python语言进行二次开发,减少一个单片机的成本。

关键词： 缆索   结构健康监测   智能缆索   光纤传感器   多参量传感  

摘要： 本文介绍了一种可直接植入缆索结构内部,实现缆索温度、湿度和应变多参量同步监测的新型光纤传感器。采用飞秒光纤光栅无损刻写技术制作缆索监测传感光纤,大幅提升了传感器耐久性。研发了基于聚酰亚胺套管的增敏型湿度传感器,大幅提升传感器测量灵敏度。提出了基于螺旋铠装+不锈钢套管的双层光纤传感器封装保护方案。研究了传感光纤从缆索锚头区域引出工艺,并开展了缆索试验研究,验证了本文研发的缆索监测多参量光纤传感器在实际缆索样品应用中的效果。

关键词： EFPI光纤传感器   三波长相位解调   三波长自适应强度解调  

摘要： 为研究非本征法布里珀罗干涉仪(EFPI)光纤传感器的算法解调效果,基于波分复用技术设计和实现三波长相位解调算法、三波长自适应强度解调算法两种解调方案。实验测得EFPI光纤传感器解调系统中三波长相位解调算法的声压灵敏度为899.88 mV/Pa(1 kHz),信噪比为75.5 dB(1 kHz),线性拟合系数为0.994;三波长自适应强度解调算法的声压灵敏度较高为1106 mV/Pa(1 kHz),信噪比为67.5 dB(1 kHz),线性拟合系数为0.961。对比两种解调算法的特性,数据客观呈现解调结果,为EFPI光纤传感器音频解调系统在不同场景下的应用提供了算法选择方案。

关键词： 纯碱   粉体流冷却器   自动控制   控制策略   传感器  

摘要： 详细探讨了基于纯碱生产的粉体流冷却器的自动控制技术,从控制系统设计、传感器和执行器的配置,到控制策略以及控制系统的集成与接口,展示了如何通过现代控制理论与技术,提升纯碱生产过程的自动化和优化水平,从而实现生产效率和产品质量的双重提升。

关键词： 公共卫生事件   机动式指挥通信平台   通信系统  

摘要： 城市作为现代社会的核心,突发事件常对生命安全构成威胁,如自然灾害、传染病、群体性疾病、食品安全和动物疫情等,严重影响公众健康。为此,确保卫生应急处置的高效进行至关重要,这要求通信系统在公共卫生紧急状态下保持畅通,以便快速提供准确信息。因此,构建快速响应的机动指挥通信平台至关重要。深入研究相关理论知识、规划方案和建设策略,其重要性日益凸显。

关键词： 数字电压   电流监测   硬件设计   软件设计   实物验证  

摘要： 本文从软件和硬件两方面来讨论。首先,它简单介绍了该课题的背景和重要性,然后阐述了国内外对该课题的研究情况,概括了本文所要做的工作。接下来,文章介绍了系统的硬件设计。它设计了数字式交流电流传感器的总体方案,还选了硬件电路的设备。这里主要比较了单片机、交流电压转换芯片和显示屏设备。然后,详细说明了硬件电路的设计。它涵盖了单片机最小系统、电源电路、液晶显示电路、电压电流采样电路、键盘输入电路和蜂鸣报警电路等方面。最后,还论述了软件程序设计。它展示了主程序流程图和各种功能子模块的流程图。并且,通过实物验证,证明了整个系统的正确性和可行性。总的来说,本文全面介绍了该课题的软硬件设计,让人们对这个系统有了更深入的了解。

关键词： 触觉传感器   亚波长金属光栅   纳米压印   机械手  

摘要： 因光学式触觉传感器有着灵敏度高、抗干扰能力强等优点,提出了一种基于亚波长金属光栅干涉的触觉传感器。首先,基于等效介质理论和薄膜干涉理论对触觉传感器的传感原理进行介绍;接着,通过纳米压印工艺和真空蒸发镀膜工艺在柔性中间聚合物片材(IPS)表面制作亚波长金属光栅,通过光刻工艺用SU—8光刻胶将亚波长金属光栅以固定间距平行离面放置,使其透射光强随接触力的施加而改变;最后,对光栅触觉传感器进行一系列力加载实验,实验结果表明:该触觉传感器的平均力分辨率可达到0.0003N/Gray以上,平均测量误差为6.3%。通过小型化设计,可以用于机械手上实现触觉传感功能。

关键词： 轨道交通   乘客信息系统   技术   设计  

摘要： 随着轨道交通的持续快速发展,如何运用科学有效的技术方法来全面提升轨道交通乘客信息系统的设计及应用成效至关重要。文章首先介绍了列车网络拓扑的集成设计,然后分析了轨道交通乘客信息系统的设计需求与思路,并结合相关实践经验,分别从项目流程绩效度量及过程方法应用等角度,探讨了轨道交通乘客信息系统的应用路径。

关键词： STM32单片机   图像识别   城市废品智能识别回收  

摘要： 设计一种智能废品识别回收机,实现废品自动分类回收。通过STM32单片机作为底层识别核心能驱动核心板,使用SG90舵机模块,采用图像识别技术,重量传感技术,满溢检测技术与微信小程序结合实现废品自动分类回收。此外,该系统还具有积分累计制,可以兑换绿色出行奖励,满足了人们的实际需求并且符合国家绿色发展道路,具有良好发展前景。